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        生產運營平臺
        PRMS
        光刻膠管理系統

        產品概覽

        • 光阻頻繁更換
          產能需求日增、機臺能力限制、車間控間有限,往往會搭配許多的機臺限制
        • 依賴人工易疏漏
          以往光阻更換系統的核對方式,不論是表單記錄或是barcode比對,操作的核心還是依靠人工
        • PRMS 系統

          通過管控機制與設計,可以有效避免光刻膠過期報廢,或是人員換裝光刻膠的誤動作風險

        智能工具與豐富應用場景

        功能特點

        • 01
          — identical HW / SW —

          自主開發系統,具有高度客制能力

        • 02
          — big data analysis —

          可運用大數據分析管理,結合inline defect分析系統快速找到真因

        • 03
          —MO prevention —

          使用RFID定時定位,可以有效防止人員操作失誤造成的風險

        • 04
          — cost reduction —

          通過縝密系統,可以有效運用,不會有過期或疏漏造成的impact

        優勢效果

        • 虛擬量測
        • 設備健康度監控
        • 圖像缺陷診斷
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