生產實時控制

保證賬料一致

減少人工操作和人工工作量

提高生產率

自動收集設備數據，減少人工錄入數據產生的錯誤

提高數據的準確性，及時性

自動收集設備的警報信息，結合設備數據，方便查找Lot的處理記錄

提高查找和分析產品質量問題的速度，進而提高產品質量

自動實時檢查設備參數，防止設備因參數偏離引起的產品質量問題

收集SPC數據，方便分析和查找產品缺陷問題和質量問題

Recipe集中控制，實時檢查

防止因不當修改Recipe參數引起的產品質量問題

便於工程師管理、修改Recipe

防止在不同設備多次修改同一Recipe引起的改錯、漏改的問題