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DMS
缺陷管理系統
產品概覽
DMS是一款缺陷改善管理系統幫助用戶用更簡潔、高效的方法對缺陷的平面分佈和履歷進行分析
基於半導體工廠具有座標的缺陷對半導體工廠缺陷數據進行處理和轉換，生成清晰而直觀的缺陷位置分佈圖
較強的靈活性和可擴展性可與EDA，YMS等模塊結合，實現多角度、多層次的缺陷數據分析
智能工具與豐富應用場景
功能特點
- 01— 缺陷查詢 —
能夠查詢缺陷數據並對缺陷數據進行編輯，可自由選擇要進行分析的缺陷數據進行不同分析
- 02— Map展示 —
將缺陷點根據座標轉換成缺陷Map圖，可快速查看出每片產品的缺陷分佈情況
- 03— Map堆疊 —
可將不同產品缺陷Map堆疊到一起，從而快速分析出缺陷高發位置以及缺陷聚集形態，並於設備結構座標做對比
- 04— 缺陷履歷分析 —
可通過同一產品在不同階段的座標進行對比，從而判斷和追溯缺陷的產生原因，從而分析出缺陷產生的原因
優勢效果
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可進行缺陷座標匹配，快速分析缺陷的增減，追溯缺陷成因
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可對缺陷進行Map進行堆疊，快速分析缺陷分佈規律
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可快速查看產品缺陷Map及產品缺陷統計信息
解決方案
頁
面
引
導
